Appareillages et Techniques de caractérisation

Il est indispensable pour appréhender un matériau de le caractériser, c'est-à-dire d'en analyser les propriétés. Il existe de nombreuses techniques de caractérisation des matériaux qui reposent sur différents principes physiques de base : les interactions rayonnement-matière, la thermodynamique et les interactions électron-matière. La plupart des techniques de caractérisation sont dites destructives car le matériau est endommagé à l'issue du test. Il existe par ailleurs des techniques de contrôle dites non destructives, qui ne dégradent pas le matériau. Ce cours a pour objectif de faire  acquérir  aux  étudiants  la  maîtrise  des  appareils  de  caractérisation  que  l’on  trouve  dans  les laboratoires de microélectronique, des méthodes et des protocoles de mesure.